E01.Cap 電容式測微儀是毫米級測量范圍、納米級測量精度的儀器。測微儀包括電感測微儀、電容測微儀、激光測微儀三種類型,主要用于高精度測量長度、厚度、深度、錐度等應(yīng)用。   E01.Cap 電容式測微儀技術(shù)參數(shù)型號  | E09.Cap  | 單位  |  量程范圍  | 0~200  | μm  |  線性度  | ±0.1  | μm  |  靜態(tài)分辨率  | 2.5  | nm  |  動態(tài)分辨率(1kHz)  | 100  | nm  |  傳感器直徑  | 10  | mm  |  小目標(biāo)直徑  | 10  | mm  |  靜態(tài)重復(fù)性  | 5  | nm  |  信號溫度穩(wěn)定性  | < 0.005  | %FSO/℃  |  長期穩(wěn)定性  | < 0.04  | %FSO/ 月  |  帶寬  | 2  | kHz(-3dB)  |  工作溫度范圍  | +10~+50  | ℃  |  環(huán)境濕度  | <85  | %  |  電壓輸出范圍  | 0~+10  | V  |  供電電壓  | 220VAC 50Hz±10%  |    |  傳感器線長  | 1.6  | m  |  板卡尺寸:長×高× 深  | 35×130×180  | mm  |  機(jī)箱尺寸:長×高× 深  | 280×170×360  | mm  |  
   原理
    它基于一個(gè)理想的平行板電容器原理,傳感器與相對面被測目 標(biāo)形成的兩個(gè)電極,采用保護(hù)環(huán)電容器原理,用于測量任何金屬 時(shí),傳感器仍是線性的。 特性:  • 模塊化設(shè)計(jì)、自由組拼
 • 可提供單個(gè)板卡模塊 • 高分辨率 • 模擬輸出 • 非接觸式測量   應(yīng)用: • Z向水準(zhǔn)測量 •  X, Y向定位 • 軸向振動測量 • 熱膨脹測量 • 位移臺傳感器  |