P77系列壓電掃描臺(tái)為一維Z軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，壓電平臺(tái)中心為106mm大通光孔，壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu)，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可以實(shí)現(xiàn)Z 軸20μm的位移行程，無摩擦柔性導(dǎo)向機(jī)構(gòu)具有超高的分辨率，閉環(huán)版本定位精度可達(dá)納米級(jí)，是光學(xué)移相器的選擇。 P77壓電掃描臺(tái)特性： Z軸運(yùn)動(dòng) • 大行程20μm • 大承載5kg • 通孔直徑：Ø106mm P77壓電掃描臺(tái)典型應(yīng)用• 顯微成像 • 表面檢測 • 閉環(huán)重復(fù)定位精度高 • 干涉/計(jì)量 • 精密定位 • 移相器 • 光學(xué)捕獲 應(yīng)用案例 大孔徑、大承載、高諧振頻率 P77系列壓電掃描臺(tái)采用優(yōu)異的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)， 利用有限元分析優(yōu)化， 剛度可達(dá)8 N/ μm，空載諧振頻率 300Hz。 閉環(huán)版本內(nèi)置高精度傳感器，對位移實(shí)時(shí)監(jiān)測反饋，可 實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的重復(fù)定位精度及線性度。 壓電掃描臺(tái)中心106mm的大通光孔，該產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于激光平面干涉儀等設(shè)備。 芯明天P77壓電移相器以其大通孔、納米級(jí)分辨率、高精度等特 點(diǎn)廣泛應(yīng)用于現(xiàn)代干涉儀中，大大提高了干涉儀的測量精度。 技術(shù)參數(shù)： 型號(hào) | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán) | P77.Z20S P77.Z20K | 單位 | 運(yùn)動(dòng)自由度 | Z | | 標(biāo)稱行程范圍（0~120V） | 14 | μm±20% | 大行程范圍（-20~150V） | 20 | μm±20% | 傳感器類型 | SGS/- | | 通孔尺寸 | Ø106 | mm | 閉/開環(huán)分辨率 | 1/0.5 | nm | 閉環(huán)線性度 | 0.2/- | %F.S. | 閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.1/- | %F.S. | 俯仰/偏航/滾動(dòng) | <10 | µrad | 推/拉力 | 120/50 | N | 運(yùn)動(dòng)方向剛度 | 8 | N/μm±20% | 空載諧振頻率 | 300 | Hz±20% | 閉/開環(huán)空載階躍時(shí)間 | 5/2.5 | ms±20% | 閉環(huán)空載 工作頻率 | 10%行程 | 60 | Hz±20% | 行程 | 10 | 大承載 | 5 | kg | 靜電容量 | 5.4 | μF±20% | 材質(zhì) | 鋁 | | 重量 | 1600 | g±5% |
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